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真實(shí)測(cè)量和控制 真實(shí)測(cè)量和控制

真實(shí)測(cè)量和控制

向下滾動(dòng)

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LEYSPEC

按下按鈕,即可顯示關(guān)鍵氣體的分壓,如果您的工藝涉及額外的氣體,還可以將其分配到備用顯示通道進(jìn)行顯示。

LEYSPEC 可達(dá)到較高的加熱除氣溫度,因此非常適合在要求苛刻的高真空和超高真空應(yīng)用中使用。

測(cè)量元件是一個(gè)熱陰極電離真空計(jì)。電子從熱絲中發(fā)射出來(lái),并通過(guò)電偏壓裝置加速射向源位置。快速移動(dòng)的電子與氣體分子發(fā)生碰撞,撞出電子,從而對(duì)氣體進(jìn)行電離。正氣體離子向帶負(fù)電的離子收集器提供電流。離子電流與壓力成比例。離子越多,離子電流越高。四極陣列由四個(gè)不銹鋼電極組成。直流和高頻電壓施加到所有電極后,會(huì)形成一個(gè)復(fù)雜的磁場(chǎng)。通過(guò)改變電壓,可以控制該磁場(chǎng)。

產(chǎn)生的振動(dòng)只允許特定質(zhì)量的離子“飛過(guò)”并到達(dá)檢測(cè)部分:

  • 具有適當(dāng)質(zhì)荷比 (m/e) 的離子將以穩(wěn)定的三維軌跡振蕩通過(guò)電極。
  • 質(zhì)荷比不正確的離子將不受控制地發(fā)生振蕩,并與電極發(fā)生碰撞

離子到達(dá)離子收集器并產(chǎn)生輸出電流,該電流用于度量通過(guò)濾波器的離子相對(duì)豐度。離子電流或分壓與質(zhì)荷比的關(guān)系隨后顯示在裝置上或軟件中。

根據(jù)所述工作原理,LEYSPEC RGA 通過(guò)查找和顯示氣體成分來(lái)驗(yàn)證氣體純度。這使 LEYSPEC 能夠識(shí)別氣體污染物,并執(zhí)行進(jìn)一步的工藝和設(shè)備控制,從而優(yōu)化工藝性能和產(chǎn)量。

標(biāo)簽:LEYSPEC

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